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亚美体育官网过滤设备pdf

  本实用新型提供了一种过滤设备,过滤设备包括:过滤装置,包括筒体、冷却装置、滤芯组件、振动模块、进气口和排气口,部分冷却装置设置在筒体内,滤芯组件设置在冷却装置内,振动模块设置在滤芯组件上,过滤设备内的气体从进气口进入至筒体内,再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。本申请的技术方案有效解决了现有技术中频繁地更换过滤器装置降低设备运转效率的问题。

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210448391 U (45)授权公告日 2020.05.05 (21)申请号 0.4 (22)申请日 2019.06.28 (73)专利权人 东泰高科装备科技有限公司 地址 102209 北京市昌平区科技园区中兴 路10号A129-1室 (72)发明人 梁旭赵青松张金斌 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 代理人 邹秋爽 (51)Int.Cl. B01D 46/00(2006.01) B01D 46/42(2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 (54)实用新型名称 过滤设备 (57)摘要 本实用新型提供了一种过滤设备,过滤设备 包括:过滤装置,包括筒体、冷却装置、滤芯组件、 振动模块、进气口和排气口,部分冷却装置设置 在筒体内,滤芯组件设置在冷却装置内,振动模 块设置在滤芯组件上,过滤设备内的气体从进气 口进入至筒体内,再经过冷却装置及滤芯组件后 由排气口排出。本申请的技术方案有效解决了现 有技术中频繁地更换过滤器装置降低设备运转 效率的问题。 U 1 9 3 8 4 4 0 1 2 N C CN 210448391 U 权利要求书 1/1页 1.一种过滤设备,其特征在于,包括: 过滤装置(10),包括筒体(30)、冷却装置(50)、滤芯组件(60)、振动模块(41)、进气口 (11)和排气口(12),至少部分所述冷却装置(50)设置在所述筒体(30)内,所述滤芯组件 (60)设置在所述冷却装置(50)内,所述振动模块(41)设置在所述滤芯组件(60)上,所述过 滤设备内的气体从所述进气口(11)进入至所述筒体(30)内,再经过所述冷却装置(50)及所 述滤芯组件(60)后由所述排气口(12)排出。 2.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于,所述冷却装置(50)包括壳体(51)和冷 却管路(52),所述冷却管路(52)环绕在所述壳体(51)外壁上,所述冷却管路(52)与所述筒 体(30)之间具有间隔,所述滤芯组件(60)设置在所述壳体(51)内,所述振动模块(41)与所 述壳体(51)的内壁之间具有间隔。 3.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于,所述振动模块(41)包括开关和振动 机。 4.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于,所述过滤装置(10)还包括第一紧固件 (16),所述振动模块(41)通过所述第一紧固件(16)安装在所述滤芯组件(60)的底部。 5.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于,所述过滤装置(10)还包括减振结构 (42),所述减振结构(42)设置在所述壳体(51)和所述滤芯组件(60)之间。 6.根据权利要求5所述的过滤设备,其特征在于,所述减振结构(42)包括法兰(421)和 金属波纹管(422),所述法兰(421)与所述滤芯组件(60)连接,所述金属波纹管(422)的一端 连接在所述壳体(51)的内壁上,所述金属波纹管(422)的另一端连接在所述法兰(421)上。 7.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于,所述滤芯组件(60)包括滤芯组(61)和 第一板体(62)和第二板体(63),所述第一板体(62)和所述第二板体(63)分别位于所述滤芯 组(61)的两端,所述滤芯组(61)、所述第一板体(62)和所述第二板体(63)通过第二紧固件 连接,所述法兰(421)连接在所述第一板体(62)上。 8.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于,所述壳体(51)包括上壳体(511)和下 壳体(512),所述金属波纹管(422)的一端连接在所述上壳体(511)的内壁上,所述冷却管路 (52)环绕在所述下壳体(512)的外侧,所述下壳体(512)的底部为开放端,所述过滤设备还 包括底壳(80),所述底壳(80)位于所述筒体(30)的底部,所述底壳(80)与所述下壳体(512) 之间具有间隔,所述筒体(30)的一端与所述上壳体(511)可拆卸地连接,所述筒体(30)的另 一端与所述底壳(80)可拆卸地连接。 9.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于,所述过滤装置(10)为多个,各所述过 滤装置(10)的进气口(11)相连通,各所述过滤装置(10)的排气口(12)相连通,或者,多个所 述过滤装置(10)中的相邻的两个所述过滤装置(10)中的一个所述过滤装置(10)的排气口 (12)与另一个所述过滤装置(10)的进气口(11)相连通。 10.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于,所述过滤设备还包括防护外罩(70), 所述防护外罩(70)罩设在多个所述过滤装置(10)的外侧,所述过滤设备还包括设置在所述 防护外罩(70)外部的抽气装置,所述防护外罩(70)的内部空腔与所述抽气装置连通。 2 2 CN 210448391 U 说明书 1/7页 过滤设备 技术领域 [0001] 本实用新型涉及半导体领域,具体而言,涉及一种过滤设备。 背景技术 [0002] Metal-organic Chemical Vapor Deposition(金属有机化合物化学气相沉淀,简 称MOCVD)设备尾气中含有大量的大分子颗粒磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物。若不 阻止这些磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物不阻止,这些有毒有害的物质会排放到大 气中,会造成环境污染。同时这些有毒有害的物质中的固态物质会堵塞线] 尾气中大量的大分子颗粒磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物一般经过单层 或多层过滤装置,以除去反应尾气中含有的固体颗粒,尾气处理装置的滤芯材料一般为无 纺布或者不锈钢网,随着设备运转时间延民,尾气中固体颗粒在过滤器中逐渐沉积,达到一 定沉积程度后,过滤器的滤芯需要更换以满足设备生长时反应室内压力稳定的要求。更换 过滤器滤芯时,MOCVD设备需要停止生产数小时,单独拆换过滤器装置,频繁地更换过滤器 装置会降低设备运转效率,影响生产产量。 实用新型内容 [0004] 本实用新型的主要目的在于提供一种过滤设备,以解决现有技术中频繁地更换过 滤器装置降低设备运转效率的问题。 [0005] 为了实现上述目的,本实用新型提供了一种过滤设备,过滤设备包括:过滤装置, 包括筒体、冷却装置、滤芯组件、振动模块、进气口和排气口,至少部分冷却装置设置在筒体 内,滤芯组件设置在冷却装置内,振动模块设置在滤芯组件上,过滤设备内的气体从进气口 进入至筒体内,再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。 [0006] 进一步地,冷却装置包括壳体和冷却管路,冷却管路环绕在壳体外壁上,冷却管路 与筒体之间具有间隔,滤芯组件设置在壳体内,振动模块与壳体的内壁之间具有间隔。 [0007] 进一步地,振动模块包括开关和振动机。 [0008] 进一步地,过滤装置还包括第一紧固件,振动模块通过第一紧固件安装在滤芯组 件的底部。 [0009] 进一步地,过滤装置还包括减振结构,减振结构设置在壳体和滤芯组件之间。 [0010] 进一步地,减振结构包括法兰和金属波纹管,法兰与滤芯组件连接,金属波纹管的 一端连接在壳体的内壁上,金属波纹管的另一端连接在法兰上。 [0011] 进一步地,滤芯组件包括滤芯组和第一板体和第二板体,第一板体和第二板体分 别位于滤芯组的两端,滤芯组、第一板体和第二板体通过第二紧固件连接,法兰连接在第一 板体上。 [0012] 进一步地,壳体包括上壳体和下壳体,金属波纹管的一端连接在上壳体的内壁上, 冷却管路环

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